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Ultra-Galvoと比べて、Extra-Galvoの特徴は、ラスタエンコーダで位置をフィードバックし、位置の解像度がもっと高い、スポット再現性もより良い、低いドリフト。温度が変化しても、スポット再現性への影響が小さい。
Ultra-Galvoと比べて、Extra-Galvoの特徴は、ラスタエンコーダで位置をフィードバックし、位置の解像度がもっと高い、スポット再現性もより良い、低いドリフト。温度が変化しても、スポット再現性への影響が小さい。
| Extra-Galvo 光学仕様 | S | M | L |
| Input Beam Aperture (mm) | 10 | 14 | 20-30 |
| Moment of inertia(g•cm2) | 0.6 | 1.5 | 7.2 |
| Force constant(N•mm/A) | 7.5 | 15 | 24 |
| Coil resistance(Ω) | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
| Coil inductance(µH) | 155 | 275 | 385 |
| Maximum continuous current(A) | 2.5 | 3.5 | 5 |
| Peak current(A) | 10 | 10 | 10 |
| Rise Time(ms) | 0.2 | 0.3 | 0.7 |
| Weight(g) | 220 | 300 | 400 |