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Ultra-Galvoと比べて、Extra-Galvoの特徴は、ラスタエンコーダで位置をフィードバックし、位置の解像度がもっと高い、スポット再現性もより良い、低いドリフト。温度が変化しても、スポット再現性への影響が小さい。
Ultra-Galvoと比べて、Extra-Galvoの特徴は、ラスタエンコーダで位置をフィードバックし、位置の解像度がもっと高い、スポット再現性もより良い、低いドリフト。温度が変化しても、スポット再現性への影響が小さい。
自社開発のコンパクト光学エンコーダーで、位置分解能は最大23ビットです。
エンコーダーは高い繰返し精度を持ち、長時間使用でもドリフトが少ないです
特殊最適化されたモーター構造で、高精度かつ大トルクです。
動的性能に優れ、応答速度が速く、長時間安定しています。
10〜50mm口径のレンズに対応する豊富な構成です。
回折格子ガルバノメーター | S | M | L |
入射ビーム口径 (mm) | 10 | 14 | 20-30 |
慣性モーメント(g•cm2) | 0.6 | 1.5 | 7.2 |
力定数(N•mm/A) | 7.5 | 15 | 24 |
コイル抵抗(Ω) | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
コイルインダクタンス(µH) | 155 | 275 | 385 |
最大連続電流(A) | 2.5 | 3.5 | 5 |
ピーク電流(A) | 10 | 10 | 10 |
立ち上がり時間(ms) | 0.2 | 0.3 | 0.7 |
重量(g) | 220 | 300 | 400 |
センサー仕様 | |
最大走査角 (°) ① | ±12.5 |
非直線性 (%) | <0.1 |
繰返し精度 (μrad) | <1 |
オフセットドリフト (μrad/K) | <15 |
ゲインドリフト (ppm/K) | <8 |
位置分解能 | 23 Bit ② |
① 上記の角度はすべて機械的角度です。
② 計算後、18ビット@25°は1.7μradに相当、23ビット@360°は0.75μradに相当します。