ガルバノは高精度位置センサと動磁気ローター技術に基づくモータ部分を含む。モータローターは最適化された設計より、優れた動的特性と応答特性があり、また、モータは高剛性と低摩擦力の特徴がある。また、運動学と動力学シミュレーションを通じて、各シリーズのガルバノシリーズに最適な慣性量のミラーを配置する。
Ultra-GalvoとExtra-Galvo 二種類があります。Ultra-Galvoの特徴は、光電センサーで位置をフィードバックし、スポット再現性とライン直行性及びコストパフォーマンスも高い。
18ビット分解能のコンパクト光電エンコーダを搭載し、高い繰り返し位置決め精度を実現
特殊最適化されたモーター構造により、高い機械精度と大きなトルク定数を確保
優れた動特性と高速応答、長時間連続運転でも安定した性能
最適化エンコーダ設計により、±20°偏向角で線形性99.6％以上
豊富な構成オプションにより、開口径7～50mmのレンズに対応可能
光電式ガルバノメーター | S | M | L |
入射ビーム口径 (mm) | 10 | 14 | 20-30 |
慣性モーメント(g•cm2) | 0.34 | 1.2 | 5.1 |
力定数(N•mm/A) | 7.5 | 15 | 24 |
コイル抵抗(Ω) | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
コイルインダクタンス(µH) | 165 | 275 | 300 |
最大連続電流(A) | 2.5 | 3.5 | 5 |
ピーク電流(A) | 10 | 10 | 10 |
立ち上がり時間(ms) | 0.18 | 0.3 | 0.7 |
重量(g) | 220 | 300 | 400 |
センサー仕様 | |
最大走査角 (°) ① | ±12.5 |
非直線性 (%) | <0.4 |
繰返し精度 (μrad) | <2 |
オフセットドリフト (μrad/K) | <10 |
ゲインドリフト (ppm/K) | <25 |
位置分解能 | 18 Bit ② |
出力信号（コモンモード） | AGC電流30–40mA時、典型170μA |
出力信号（差動モード） | AGC電流30–40mA時、9–10μA/° |
① 上記の角度はすべて機械的角度です。
② 計算後、18ビット@25°は1.7μradに相当、23ビット@360°は0.75μradに相当します。
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